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论文研究 内嵌铂纳米颗粒的Al2O3/ZrO2绝缘层的介电增强 .pdf

上传者: 2020-07-18 02:58:44上传 PDF文件 1.24MB 热度 11次
内嵌铂纳米颗粒的Al2O3/ZrO2绝缘层的介电增强,朱宝,刘骐萱,本文采用原子层淀积技术生长了铂纳米颗粒、Al2O3和ZrO2薄膜,研究了铂纳米颗粒的引入对Al2O3/ZrO2绝缘层介电性能的影响。结果表明,与Al
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