1. 首页
  2. 移动开发
  3. 其他
  4. 氢化硅碳薄膜制备及其光电性能研究

氢化硅碳薄膜制备及其光电性能研究

上传者: 2020-07-17 16:02:09上传 PDF文件 859.78KB 热度 24次
氢化硅碳薄膜制备及其光电性能研究,马胜利,张旭东,本文采用电弧增强磁控溅射镀膜(AEMS)技术制备SiCx:H薄膜,采用新颖的独立Si、C平面靶材,通过采用不同的工艺参数得到不同显微结构及光
用户评论