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热丝CVD低温下快速制备碳化硅基硅纳米晶薄膜的研究

上传者: 2020-07-19 04:47:39上传 PDF文件 347.1KB 热度 22次
热丝CVD低温下快速制备碳化硅基硅纳米晶薄膜的研究,蒋继文,刘艳红, 采用热丝化学气相沉积(HWCVD--Hot Wire Chemical Vapor Deposition)技术在低温下制备碳化硅基硅纳米晶(Si-NC:SiC --Si NanoCrystal embedded in Silicon Carb
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