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论文研究 基于光谱共焦传感器的石英摆片厚度测量 .pdf

上传者: 2020-07-17 11:56:58上传 PDF文件 441.04KB 热度 16次
基于光谱共焦传感器的石英摆片厚度测量,刘雪原,钟志,石英摆片厚度的测量能够为石英摆片加工生产提供重要信息,通过对石英摆片的厚度进行测量,可以在时发现并排除有缺陷的产品,提高
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