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HWCVD法制备非晶和纳米晶WOx薄膜

上传者: 2020-07-17 11:00:22上传 PDF文件 748.17KB 热度 28次
HWCVD法制备非晶和纳米晶WOx薄膜,李忠岳,王春霞,氧化钨(WOx)作为重要的过渡金属氧化物之一,在许多领域具有广泛的应用,目前已发展出了多种氧化钨的制备工艺。本文利用热丝化学
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