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Thickness Dependent Phase Evolution of Nano Hf0.5Zr0.5O2 Thin Films Prepared wit

上传者: 2020-07-17 02:54:01上传 PDF文件 416.73KB 热度 15次
薄膜厚度对纯水基溶胶-凝胶法制备Hf0.5Zr0.5O2纳米薄膜相转变的影响,郭春霞,周大雨,利用纯水基溶胶-凝胶法在Si基底上制备Hf0.5Zr0.5O2薄膜,对Hf0.5Zr0.5O2胶体进行DSC-TGA分析,并以AFM、XRR以及GIXRD为主要手段对薄膜样品的表面
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