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在熔融石英衬底上生长高质量的SrTiO3薄膜

上传者: 2020-07-17 02:17:09上传 PDF文件 1.63MB 热度 21次
在熔融石英衬底上生长高质量的SrTiO3薄膜,邢杰,高兴宇,利用磁控溅射技术在熔融石英衬底上生长了SrTiO3薄膜,然后对薄膜进行不同温度的后退火处理,利用X射线衍射和扫描电镜表征薄膜的微�
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