一种新型MEMS惯导加速度计的设计与研究

采用微机械加工技术制造出的MEMS器件不但具有体积微小化、功能集成化的特点；而且提高了使用的可靠性，降低了成本，这对于许多高新技术领域的发展具有重要意义。加速度传感器就是MEMS技术应用的一个重要领域之一。MEMS惯导加速度传感器是微惯性测量组合(MIMU)的核心部件，在军用航空和民用相关领域有重要的发展前景，研究高性能的MEMS惯导加速度计已成为世界各国的研究热点。