论文研究 高频振荡梳状加速器的设计与优化

梳齿驱动装置已广泛应用于许多领域。 但是，诸如火箭室之类的高频传感器的应用仍然存在问题。 在这项工作中，有限元代码用于梳齿驱动加速器的设计，优化和可视化。 在仿真结果中，后优化设计在高频振荡工作环境中具有高性能。 该优化基于理想的本征频率和Nelder-Mead方法。 通过测试并比较频率范围为2000 Hz至5000 Hz的预优化和优化设计的时域和频域，可以实现3-D工作条件。 最后，可视化梳齿驱动器中的电势和电容，显示出更好的电信号和位移。