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基于微热板气压传感器电热力耦合分析研究

上传者: 2020-07-16 07:42:09上传 PDF文件 382.57KB 热度 23次
基于微热板气压传感器电热力耦合分析研究,邵明亮,,本文通过经典传热理论和稀薄气体动力学对微热板式微气压传感器进行了电热理论分析并建立了传感器电热理论分析模型,结合微热板传
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