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脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒的动力学研究

上传者: 2020-05-24 18:11:54上传 PDF文件 243.28KB 热度 25次
脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒的动力学研究,李红伟,苏威,本文采用准分子激光器在10Pa氩气环境中烧蚀单晶硅靶,用扫描电子显微镜观察了沉积物的表面形貌,可以得到衬底上晶粒面密度及平均�
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