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水下纳秒脉冲激光的掩模微细刻蚀加工

上传者: 2020-05-15 16:11:46上传 PDF文件 454.36KB 热度 27次
水下纳秒脉冲激光的掩模微细刻蚀加工,张朝阳,陈飞,在激光的传输光路中加入掩模板,采用水下纳秒脉冲激光实现了掩模图形的缩映加工,与飞秒激光微细加工相比可显著提高加工效率,加
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