水下纳秒脉冲激光的掩模微细刻蚀加工 上传者：donshing 2020-05-15 16:11:46上传 PDF文件 454.36KB 热度 49次 水下纳秒脉冲激光的掩模微细刻蚀加工，张朝阳，陈飞，在激光的传输光路中加入掩模板，采用水下纳秒脉冲激光实现了掩模图形的缩映加工，与飞秒激光微细加工相比可显著提高加工效率，加 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
