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基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法

上传者: 2020-05-15 12:06:15上传 PDF文件 511.76KB 热度 16次
基于异构宏模型的MEMS系统级建模方法,吕湘连,苑伟政,针对含复杂结构的MEMS器件,提出基于异构宏模型的系统级建模方法,即将基于解析法和基于数值计算的宏建模方法结合起来提取复杂器�
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