旋转涂覆法(SOD)制备硅基多孔低k薄膜材料的研究进展 上传者：77359 2020-05-14 23:56:23上传 PDF文件 509.43KB 热度 23次 旋转涂覆法（SOD）制备硅基多孔低k薄膜材料的研究进展，殷桂琴，宁兆元，近年来,低介电常数材料在IC工业中日益受到人们广泛关注。为了降低信号传输延迟、串扰以及由于介电损失而导致的功耗增加，要求采� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
