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原子光刻中的原子沉积理论模拟及可视化

上传者: 2020-05-06 02:32:50上传 PDF文件 1020.91KB 热度 20次
原子光刻中的原子沉积理论模拟及可视化,马艳,,通过一个一维的空间模型来模拟实际为二维空间中的原子传播,有效的简化了原子在激光会聚原子沉积过程中的波动方程,并且通过软件
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