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原子光刻用亚稳态氖原子束源的研究

上传者: 2021-02-24 00:24:16上传 PDF文件 80.81KB 热度 9次
研制了一台用于原子光刻的亚稳态氖原子束源,其束流强度可达3.3×1014 atoms/s?Sr..研究了束流强度的变化规律,并对其机理进行了探讨.
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