1. 首页
  2. 编程语言
  3. 其他
  4. 采用二次离子质谱法开展碳化硅中Cs离子迁移扩散的研究

采用二次离子质谱法开展碳化硅中Cs离子迁移扩散的研究

上传者: 2020-04-30 02:58:14上传 PDF文件 424.55KB 热度 16次
采用二次离子质谱法开展碳化硅中Cs离子迁移扩散的研究,臧航,黄智晟,首先用1.5MeV的Si离子在常温下注入多晶化学气相沉积3C-SiC制备非晶SiC,注量为5E16cm-2,然后使用400keV的Cs离子在常温下注入多晶化学气相�
下载地址
用户评论