论文研究基于工艺模拟的MEMS断裂可靠度预测方法 .pdf
基于工艺模拟的MEMS断裂可靠度预测方法，王磊，宋竞，本文给出了一种基于工艺模拟的MEMS结构断裂失效概率计算方法，充分考虑了非理想形貌对失效概率的影响，使得预测结果更加准确。并��
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