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论文研究基于工艺模拟的MEMS断裂可靠度预测方法 .pdf

上传者: 2020-04-29 12:51:31上传 PDF文件 342.92KB 热度 24次
基于工艺模拟的MEMS断裂可靠度预测方法,王磊,宋竞,本文给出了一种基于工艺模拟的MEMS结构断裂失效概率计算方法,充分考虑了非理想形貌对失效概率的影响,使得预测结果更加准确。并��
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