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蓝宝石上硅基超高速光导开关THz波辐射特性的研究

上传者: 2020-04-24 06:58:38上传 PDF文件 393.98KB 热度 23次
蓝宝石上硅基超高速光导开关THz波辐射特性的研究,杜忠勋,韩美瑞,本文研究了以O+离子注入的蓝宝石上硅(SOS)作为超高速光导开关的基底材料,并且用原子力显微镜探针阳极氧化加工的纳米氧化钛线作�
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