纳米复合超硬薄膜的制备、性能及其工业应用 上传者：qq_21213 2020-04-21 13:47:55上传 PDF文件 566.91KB 热度 52次 纳米复合超硬薄膜的制备、性能及其工业应用，马胜利，马大衍，本文分别用直流、脉冲直流和微波等离子体辅助化学气相沉积（PCVD）技术得到了Ti-Si-N、Ti-B-N及Ti-Al-Si-N纳米复合超硬薄膜，结合微观分析 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
