具有高热稳定性和低电阻率性能的无扩散阻挡层CuNiSn三元薄膜 上传者：YAO命的ID 2020-04-19 21:44:52上传 PDF文件 1008.01KB 热度 19次 具有高热稳定性和低电阻率性能的无扩散阻挡层Cu-Ni-Sn三元薄膜，刘立筠，李晓娜，随着半导体互连线特征尺寸的不断减小，Cu合金薄膜的热稳定性研究越来越被广泛的关注。本文研究了应用磁控溅射法制备三元Cu-Ni-Sn薄� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 YAO命的ID 资源：464 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
