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Effect of Nitrogen Flow on MicrostructureSurface Morphology and Wettability of C

上传者: 2020-04-18 14:41:33上传 PDF文件 258.6KB 热度 23次
氮气流量对氮化铬薄膜的显微结构、表面形貌和润湿性的影响,梁柔,,采用闭合场非平衡磁控溅射离子镀系统(CFUBMSIP)在M42高速钢和硅片基体上沉积氮化铬薄膜,用XRD、AFM、SEM和接触角仪检测氮气流量对不�
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