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激光弯曲不同厚度硅片的试验结果及模拟分析

上传者: 2020-04-12 03:22:58上传 PDF文件 683.62KB 热度 24次
激光弯曲不同厚度硅片的试验结果及模拟分析,吴东江,刘双,基于MEMS中对不同厚度硅片弯曲成形的需求,针对三种厚度硅片激光弯曲的试验结果,利用有限元ANSYS软件进行成形过程温度场模拟,分析
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