基于扫描探针声显微镜对SiO2基底上激光损伤的HfO2薄膜物理性质的检测 上传者：shidizaia 2020-02-24 08:19:01上传 PDF文件 721.84KB 热度 39次 基于扫描探针声显微镜对SiO2基底上激光损伤的HfO2薄膜物理性质的检测，程茜，姚文刚，扫描探针声显微镜（SPAM）是一种新型材料性能检测工具，它可以同时地原位地对试样表面和亚表面进行成像，采用不同的探针可探测纳� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
