扫描探针显微镜系统的各种组合方式

Name: 扫描探针显微镜系统的各种组合方式
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Author: u73869

上传者：u73869 2021-02-21 10:51:31上传 PDF文件 395.96KB 热度 39次

综述了扫描探针显微镜(SPM)系统中显微镜主体部分的各种结构方式,分析其优缺点,对新型SPM的设计提供了参考。

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