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单晶碳化硅晶片半固着磨粒柔性抛光工艺研究

上传者: 2020-02-03 23:24:56上传 PDF文件 722.57KB 热度 17次
单晶碳化硅晶片半固着磨粒柔性抛光工艺研究,罗求发,陆静,针对游离磨料加工单晶碳化硅晶片中存在的加工效率低、磨料易团聚、抛光废液污染环境等突出问题,提出采用磨料半固着的柔性抛光工
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