单晶碳化硅晶片半固着磨粒柔性抛光工艺研究 上传者：u13943 2020-02-03 23:24:56上传 PDF文件 722.57KB 热度 39次 单晶碳化硅晶片半固着磨粒柔性抛光工艺研究，罗求发，陆静，针对游离磨料加工单晶碳化硅晶片中存在的加工效率低、磨料易团聚、抛光废液污染环境等突出问题，提出采用磨料半固着的柔性抛光工 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
