论文研究高压MOS器件物理特性研究及可靠性改进 .pdf
高压MOS器件物理特性研究及可靠性改进，李毅，，本文将介绍高压MOS器件的物理特性及其对半导体可靠性的影响，着重通过对高压器件场氧穿透现象和高压器件热载流子效应等现象的研究
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