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钝化层与器件可靠性研究

上传者: 2020-04-29 06:48:24上传 PDF文件 1.18MB 热度 21次
钝化层与器件可靠性研究,李雨辰,何友琴,本文采用了X光电子能谱仪(XPS)、扫描电镜、二次离子质谱仪(SIMS)等多种分析手段对某半导体器件厂失效器件进行失效原因分析,并�
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