钝化层与器件可靠性研究 上传者：qinxupeng 2020-04-29 06:48:24上传 PDF文件 1.18MB 热度 43次 钝化层与器件可靠性研究，李雨辰，何友琴，本文采用了X光电子能谱仪（XPS）、扫描电镜、二次离子质谱仪（SIMS）等多种分析手段对某半导体器件厂失效器件进行失效原因分析，并� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
