论文研究MEMS红外微辐射源的研制及应用 .pdf 上传者：CSDN阿坤 2019-09-19 02:06:18上传 PDF文件 355.73KB 热度 31次 MEMS红外微辐射源的研制及应用，纪新明，彭晶，结合MEMS工艺研制了一种可用于红外气体传感器的低成本电调制MEMS辐射光源。辐射源主要由Si3N4/SiO2的复合支撑薄膜和铂金发热电极组成。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 收藏 腾讯 微博 用户评论 发表评论 CSDN阿坤 资源：19615 粉丝：1 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
