论文研究MEMS红外微辐射源的研制及应用 .pdf 上传者：CSDN阿坤 2019-09-19 02:06:18上传 PDF文件 355.73KB 热度 49次 MEMS红外微辐射源的研制及应用，纪新明，彭晶，结合MEMS工艺研制了一种可用于红外气体传感器的低成本电调制MEMS辐射光源。辐射源主要由Si3N4/SiO2的复合支撑薄膜和铂金发热电极组成。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
