论文研究厚膜SOI材料顶层硅过渡区减薄方法 .pdf
厚膜SOI材料顶层硅过渡区减薄方法，王文宇，郑健，本文介绍了厚膜绝缘层上硅材料（SOI）的一种新型制备工艺方法，并分析该制备方法中外延层过渡区问题，并提出利用传统化学机械抛光
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