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论文研究具有快速光响应的ZnO紫外探测器的研制 .pdf

上传者: 2019-09-07 00:05:09上传 PDF文件 379.28KB 热度 26次
具有快速光响应的ZnO紫外探测器的研制,张景文,徐庆安,利用射频溅射装置在石英衬底上生长了具有C轴择优取向的ZnO薄膜,通过光刻、真空蒸镀Al电极等工艺,制得了具有叉指状电极的平面结构
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