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论文研究等离子体辅助脉冲激光沉积制备GaN/AlN超晶格和准AlGaN三元合金 .pdf

上传者: 2019-09-07 00:05:06上传 PDF文件 627.21KB 热度 29次
等离子体辅助脉冲激光沉积制备GaN/AlN超晶格和准AlGaN三元合金,蔡华,游庆虎,介绍一种以GaAs和Al为靶材料,用等离子体辅助反应脉冲激光沉积方法沉积GaN/AlN超晶格进而制备准AlGaN三元合金薄膜的方法。我们在电子回
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