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论文研究表面极性对ZnMgO/ZnO异质结中二维电子气形成的影响 .pdf

上传者: 2019-09-04 03:57:10上传 PDF文件 1.29MB 热度 20次
表面极性对ZnMgO/ZnO异质结中二维电子气形成的影响,李远洁,马博君,利用射频磁控溅射法在c面(0001)蓝宝石单晶衬底上生长了ZnMgO/ZnO异质结结构,通过对生长过程中射频功率及氧气流量的调控,获得了不�
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