论文研究基于概率密度PCA的多模态过程故障检测.pdf

为了提高故障检测和分类能力，提出基于概率密度PCA的多模态过程故障检测算法。对各模态的训练数据建立PCA模型，计算各个模型的控制限和匹配系数。根据匹配系数计算各模态统一的控制限。对新来的数据，运用概率密度确定其模态。新来数据向对应模态的模型上投影并计算统一的统计量，比较统计量与控制限进行多模态过程故障检测。把该方法应用到数值例子和半导体过程中，仿真结果表明，该算法在分类及多模态过程故障检测方面具有很高的准确性。