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功率半导体器件芯片背面多层金属层技术的详细资料说明

上传者: 2024-10-03 09:47:11上传 PDF文件 1.69MB 热度 2次
本文阐运了功率半导体器件芯片背面需要多层金属层,才能满足芯片和底座问电学和散热的要求。讨论了多层金属层分布的选择原则和制备中的注意事项。表明该技术具有重大的经济效益。
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