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MEMS和传统CMOS刻蚀与沉积工艺到底有什么关系

上传者: 2024-09-14 07:07:09上传 PDF文件 111.48KB 热度 10次
不久前,MEMS蚀刻和表面涂层方面的领先企业memsstar向《电子产品世界》介绍了MEMS与传统CMOS刻蚀与沉积工艺的关系,对中国本土MEMS制造工厂和实验室的建议等。
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