壁面表面反应和化学蒸汽沉积-itsm系统配置详细手册

13.2 壁面表面反应和化学蒸汽沉积

对于气相反应，反应速率是在容积反应的基础上定义的，化学物质的形成和摧毁成为物质守恒方程中的一个源项。沉积的速率由化学反应动力和流体到表面的扩散速率控制。壁面表面反应因此在丰富相中创建了化学物质的源（和容器），并决定了表面物质的沉积速率。有关表面反应和化学蒸气沉积的信息按以下小节给出：

13.2.1 概述和限制

13.2.2 理论

13.2.3 壁面表面反应的用户输入

13.2.4 壁面表面反应的求解过程

13.2.5 壁面表面反应的后处理

13.2.1 概述和限制

表面物质和壁面表面反应的概述

FLUENT 把沉积在表面的化学物质与气体中的相同化学物质分开处理。类似地，涉及沉积的表面反应定义为单独的表面反应，因而其处理也与涉及相同化学物质的丰富相反应不同。

举例说明，考虑从硅烷分解的如下硅沉积机理：

反应1（表面）：

)(2)()( 24 gHsSigSiH +→ ；

反应2（气体）：

)()()( 224 gHgSiH +→ ；

反应3（气体）：

)()()( 22 gHgSiH +→ ；

反应4（表面）：

)()()( 22 gHsSigSiH +→ ；