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气相沉积技术-spss中python如何应用教程

上传者: 2024-07-13 07:01:49上传 PDF文件 13.65MB 热度 6次

10.3 气相沉积技术

气相沉积是将含有形成沉积元素的气相物质输送到工件表面,在工件表面形成沉积层的工艺方法。

依据沉积过程反应的性质,可分为:

  • 化学气相沉积
  • 物理气相沉积
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