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应变硅技术提升纳米级MOSFET性能的研究和应用

上传者: 2023-04-19 20:33:12上传 PDF文件 5.5MB 热度 8次

该文详细介绍了如何利用应变诱导硅技术来提高纳米级MOSFET的性能。通过掌握沟道应力的大小与分布,以及应力分布与电学特性的模拟研究,能够实现载流子迁移率的增强。应变硅技术有望在未来相当长时间内继续推动集成电路的发展,与当前微电子主流工艺兼容。

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