微电子行业入门通用教材

目 录

第一章 半导体的基础知识

1-1半导体的一些基本概念

1-1-1什么是半导体？……………………………………………………4

1-1-2 半导体的基本特性………………………………………………. .4

1-1-3 半导体的分类……………………………………………………...4

1-1-4 N型半导体和P型半导体……………………………………….5

1-1-5 半导体的导电机构……………………………………………….6

1-2 P-N结………………………………………………………………………9

1-2-1 P-N结的构成…………………………………………………….9

1-2-2 P-N结内的载流子运动和平衡…………………………………10

1-2-3 P-N结的基本特性………………………………………………10

1-3 二极管………………………………………………………...……………12

1-3-1 二极管的基本构成………………………………………………..12

1-3-2 二极管的特性曲线（伏安特性）………………...…………….12

1-3-3 二极管的分类……………………………………………………13

1-4 晶体管（仅讲双极型）……………………………………………………13

1-4-1 晶体管的构成…………………………………………………….13

1-4-2 晶体管的放大原理……………………………………………….15

1-4-3 晶体管的特性曲线……………………………………………….18

1-4-4 晶体管的分类…………………………………………………….21

1-4-5 晶体管的主要电参数…………………………………………….21

第二章 晶体管制造工艺与原理

2-1 典型产品工艺流程……………………..…...………………………………24

2-1-1 晶体管的基本工艺流程…………………………………………..24

2-1-2 典型产品的工艺流程…………………………………...…………24

2-2 晶体管制造主要工艺的作用与原理……………...………………………..25

2-2-1 氧化工艺…………………………………………………………..25

2-2-2 扩散工艺…………………………………………………………..26

2-2-3 离子注入工艺……………………………………………………..30

2-2-4 光刻工艺…………………………………………………………..31

2-2-5 蒸发（真空镀膜）工艺…………………………………………..32

2-2-6 CVD工艺…………………………………………………………..33

2-2-7 台面工艺…………………………………………………………..34

2-2-8 三扩、磨抛工艺…………………………………………………..35

2-2-9 清洗工艺…………………………………………………………..36

2-2-10 中测、划片工艺…………………………………………………36

2-3 常见的工艺质量问题以及对产品质量的影响……………………………….37

2-3-1 工艺质量问题分类…………………………………………………37

2-3-2 常见的工艺质量问题举例…………………………………………37

2-4 工艺纪律和工艺卫生的重要性……………………………………………….41

2-4-1 半导体生产对空气洁净度的要求…………………………………41

2-4-2 工艺卫生的内涵…………………………………………………..42

2-4-3 工艺卫生好坏对半导体生产的影响……………………………..42

2-4-4 工艺纪律的内涵…………………………………………………..43

2-4-5 工艺纪律的重要性………………………………………………..43