微操作机器人显微视觉系统研究

摘要：分析了显微视觉系统的基本原理和组成，给出了其在微操作领域的应用现状，提出了显微视觉系统亟待解决的一些关键问题，并对这些关键问题的解决方案进行了探讨。提出并设计了一种面向亚毫米级微零件装配的基于正交方式实现的立体显微视觉方

案，形成对三维微装配空间的立体监视，系统的精度为2.5um，满足了微装配要求。

关键词：微操 作机器人 显微视觉系统 结构 立体视觉

本文讨论显微视觉系统的基本原理和组成，分析了系统存在问题和关键技术，提出了基于系统的解决方案，并介绍了我们为面向亚毫米级微对象装配任务而开发的显微视觉系统。