用于微振动测量的微型迈克尔逊干涉仪的构建
该文介绍了一种用半导体激光器构建微型迈克尔逊干涉仪的方法。这种方法能应用于微振动的精确测量。实验证明,用这种方法构建的微振动传感器体积小、质量轻、价格便宜,并且具有很高的灵敏度和准确度。
关键词 迈克尔逊干涉仪,振动传感器,微振动测量
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