薄膜锂电池的研究进展

微电子机械系统（MEMS）和超大规模集成电路（VLSI）技术的发展对能源的微型化、集成化提出了越来越高的要求。全固态薄膜锂电池因其良好的集成兼容性和电化学性能成为MEMS和VLSI能源微型化、集成化的最佳选择。简单介绍了薄膜锂电池的构造，举例说明了薄膜锂电池的工作原理。从阴极膜、固体电解质膜、阳极膜三个方面概述了近年来薄膜锂电池关键材料的研究进展。阴极膜方面LIPON膜的研究为主；阳极膜方面以对锂金属替代物的研究为主，比如锡的氮化物、氧化物以及非晶硅膜，研究多集中在循环交通的提高。在薄膜锂电池结构方面，三维结构将是今后研究的一个重要方向。