两种开孔的高填充率GRIN平面微透镜阵列离子扩散特性

采用光刻离子交换法制作六角形孔径的高填充率梯度折射率(GRIN)平面微透镜阵列可有六角形和圆形两种开孔方式。通过设计两种孔径的六角形排列模板,采用光刻离子交换法并分时段取样,分别对形成高填充率GRIN平面微透镜阵列的两种开孔方式的离子扩散特性进行测试和分析,得到了这两种开孔方式在r方向和z方向的离子扩散和开孔表面凸起的特性,为制作不同孔径大小与开孔间距的高填充率GRIN平面微透镜阵列提供了工艺和理论参考。