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含氧等离子体处理增强型AlGaN / GaN纳米线沟道高电迁移率晶体管的研究

上传者: 2021-05-01 02:50:11上传 PDF文件 895.76KB 热度 17次
含氧等离子体处理增强型AlGaN / GaN纳米线沟道高电迁移率晶体管的研究
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