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激光全息术在半导体工业中的应用

上传者: 2021-04-30 20:41:21上传 PDF文件 1.38MB 热度 9次
激光全息术的支持者们认为该技术已经大规模地进入半导体工业。对半导体工业进行冲击的动力大部分来自Insystems公司。该公司最近研制了一种用全息术检查掩膜和硅晶片的样机系统,还发展了用全息法印刷半导体晶片的技术,特征尺寸可以小到0.25微米。
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