中空型平板波导红外光谱仪的波长定标

为了实现中空型平板波导小型红外光谱仪光谱数据的定量化, 在分析实验室常用波长定标方法的基础上, 搭建了一种基于CO2激光器+积分球的波长定标装置。该装置的光谱定标范围宽, 且具有较高的分辨率, 克服了传统实验室定标方法的缺点, 提高了定标精度。首先介绍了中空型平板波导红外光谱仪的工作原理, 接着利用该定标装置对光谱仪进行波长定标, 然后采用多项式拟合算法完成定标数据的分析, 最后通过对两片窄带滤光片的测量完成定标结果的验证。实验结果表明:采用CO2激光器+积分球组合的方式得到的波长定标方程, 其中心波长定标误差不超过0.02 μm, 光谱分辨率可达144 nm。