GaAs 1×4 Mach Zehnder型光开关列阵研究

采用非对称X结耦合器设计并研制了 GaAs 1×4 Mach-Zehnder型光开关列阵。简述了非对称X结和相应的光开关列阵的工作原理及器件的设计和制作过程。在波长为1.15 μm的光波下测量单元器件,得到了小于-20 dB的串音和小于12 V的开关电压,器件的光波导传输损耗约为7 dB/cm。文中最后分析了导致器件中串音和损耗的各因素,并提出了可能的改进方法。