用于显示的透射型法布里珀罗光调制器

提出了一种用于显示的,基于透射型法布里珀罗干涉的微机电系统(MEMS)光学调制器。基于多光束干涉原理分析了调制器的光学特性,推导出了调制器结构的特征参量。分析表明,当调制器的腔长为λc/4时,透射光可以实现暗态显示;当调制器的腔长取为零或λc/2时,透射光可以实现亮态显示。通过控制法布里珀罗腔长,就可实现调制器的明暗调制。理论上证明了该调制器用于显示的可行性。设计了一种基于微机电系统的透射型法布里珀罗光学调制器结构,该调制器的理论衬比度达到150。仿真结果表明,该调制器具有2.4 V的低电压静电驱动性能。