基于纳米运动平台的原子力显微镜开发 上传者：u52973 2021-04-24 19:40:17上传 PDF文件 359.19KB 热度 49次 采用一种无耦合、三轴精确定位的纳米运动平台作为扫描器,研制了一种新型原子力显微镜(AFM)。该AFM有效消除了通常使用的单管式压电陶瓷扫描器扫描过程中运动耦合产生的两种结构误差——交叉耦合误差和扫描范围误差,极大提高了纳米测量及操作的精度。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
